开云(中国)Kaiyun



  1. 晶圆检测设备

    产品简介

    采用高分辨率成像的明暗场晶圆表面(miàn)检测,基于图(tú)像算法、检测模型和(hé)良品异常检测三种模式,检出晶(jīng)圆表(biǎo)面缺陷,并提供数据(jù)统计分析

    2D检测精确度
    um

    1

    UPH
    pcs/h

    60

    漏检率
    ppm

    ≤50

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